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Physique appliquée USA

Perles de latex de polystyrène, normes de la taille des particules

Applied Physics USA Sphères PSL, Sphères en latex de polystyrène, Normes de taille des particules

COMMANDER: 20 - Sphères PSL de 900 nanomètres | COMMANDER: 1 - Sphères de latex de polystyrène 160 microns | COMMANDER: Sphères de silice 40 nm à 2 microns

Applied Physics USA fournit des sphères PSL et des billes de latex de polystyrène comme étalons de taille de particules pour l'étalonnage des instruments d'aérosol. Les outils d'inspection de plaquettes, tels que KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2, TopCon, ADE et Hitachi nécessitent également un étalonnage de la taille, qui est réalisé grâce à l'utilisation de sphères en latex de polystyrène. Les sphères PSL, billes de latex de polystyrène, sont fournies dans des tailles allant de 20 nm à 10 microns pour calibrer les courbes de réponse de taille des systèmes d'inspection de plaquettes et des compteurs de particules laser respectifs. Les sphères PSL de 20 nm à environ 5 microns sont généralement utilisées pour calibrer la réponse en taille des compteurs de particules laser. Les sphères PSL peuvent être utilisées pour produire des normes de plaquettes PSL et des normes de plaquettes de particules, qui sont utilisées pour étalonner la réponse en taille des outils KLA-Tencor Surfscan et des anciens outils Tencor Surfscan.

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Les billes de latex de polystyrène peuvent être commandées en appelant Applied Physics au (719) 428-4042.

Les systèmes d'inspection de plaquettes, appelés systèmes d'inspection de surface à balayage, SSIS, notamment de KLA-Tencor et Hitachi, sont étalonnés à l'aide des normes de plaquettes PSL, qui sont des plaquettes de silicium Prime déposées avec des sphères PSL à des tailles spécifiques et une distribution de taille étroite. Les outils d'inspection des plaquettes sont utilisés pour contrôler la propreté des surfaces des plaquettes de 300 mm, 200 mm et 150 mm; silicium nu ou film déposé, surface de la tranche. Le SSIS peut identifier l'emplacement X / Y des sphères et des particules PSL, décrire la taille de chaque défaut et résumer un nombre global de particules sur la surface de la tranche. Les systèmes d'inspection de plaquettes KLA-Tencor, tels que Tencor 6200, 6420 et KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2 et KLA-Tencor SP3, sont utilisés dans toute l'industrie des semi-conducteurs pour cette application. Topcon possède les systèmes d'inspection de plaquettes des séries 3000, 5000 et 7000. Estek, ADE, Aeronca et Hitachi fournissent également une variété de systèmes d'inspection de plaquettes. Presque tous les SSIS produits aujourd'hui sont désormais capables de détecter à une sensibilité de taille de particules de 30 nm ou mieux. Les sphères PSL sont utilisées pour représenter les normes de taille de particule sur la surface de la tranche. Applied Physics propose des tailles de sphères PSL de 20 nm à 160 microns pour l'étalonnage de taille, les tests de filtre HEPA, etc. Les sphères PSL peuvent être commandées en appelant Applied Physics au (719) 428-4042.

Les sphères PSL sont utilisées avec les systèmes de dépôt de plaquettes PSL pour produire des normes de plaquettes PSL, également appelées normes de plaquettes de particules. Dans les deux cas, une fois la norme PSL Wafer Standard produite, elle est ensuite placée sur un système d'inspection de plaquette et numérisée par un SSIS à laser unique ou SSIS à laser double. La réponse de taille PSL réelle est comparée à la réponse de taille SSIS. Si les deux pics ne correspondent pas, le SSIS doit être étalonné. Les sphères PSL pré-mélangées à haute concentration sont destinées aux systèmes 2300XP1, 2300 NPT-1, 2300NPT-2 et M2300G3.

Sphères PSL, concentration 1%.

Les sphères PSL prémélangées sont présentées dans un flacon 50ml de taille mono-dispersée (distribution de taille 1) et ont une taille d'environ 47nm à 950nm. Cette solution PSL est versée directement dans le nébuliseur ou le récipient de pulvérisation. Le prémélange est un moyen pratique d’acquérir les billes de latex de polystyrène, dans la mesure où toute la dilution a été réalisée de manière très uniforme, sans moules ni complications, ce qui permet à l’utilisateur de ne pas mélanger les billes de latex de polystyrène à l’aide de béchers, d’eau déionisée et plateaux à ultrasons. Le matériau PSL non mélangé est fourni dans une bouteille 15ml, de taille monodispersée (distribution de taille 1) et généralement à une concentration en 1%. Ces sphères PSL sont fournies dans une large gamme de tailles, mais pour nos besoins, de la taille 20nm à 4um. Le matériau PSL doit être mélangé à la dilution appropriée ou il sera trop concentré ou trop faible pour fournir des résultats efficaces lorsque vous tentez de déposer par l'un des systèmes de dépôt de tranches PSL ci-dessus. Lien des brumisateurs CleanRoom